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中微公司發布用于MiniLED量產的MOCVD設備

發布時間:2021-08-09    537 閱讀量

中微半導體設備(上海)股份有限公司推出專為高性能MiniLED量產而設計的Prismo UniMaxTM MOCVD設備,該設備在幫助 LED 芯片制造商提高產能的同時能夠有效地降低生產成本。

中微公司 Prismo 系列 MOCVD 設備已進入全球大多數領先的氮化鎵基藍綠光 LED 制造商,此次推出的Prismo UniMax 是中微公司 Prismo 系列 MOCVD 設備的最新產品,該設備在同一系統中可配備多達 4 個反應腔。Prismo UniMax 配置了創新的多區溫度補償加熱系統,具備優異的波長均勻性、重復性和穩定性。該設備還具有其他一些新穎特征,如噴淋頭的優化設計實現了更好的均勻性和產出穩定性、超大直徑石墨托盤可大幅提升產能并降低成本。Prismo UniMax MOCVD 設備專為高產量而設計,具有業內領先的加工容量;通過石墨盤晶片排布的最優化,其加工容量可以延伸到生長 164 片 4 英寸或 72 片 6 英寸晶片。

中微公司 Prismo UniMax MOCVD 設備已收到來自國內領先客戶的訂單。同時,中微公司正在與更多客戶合作進行設備評估。Prismo UniMax 設備拓展了中微公司的MOCVD 設備產品線,亦為全球 LED 芯片制造商提供最新解決方案以應對 MiniLED 生產帶來的挑戰。MiniLED 具有高亮度、精確的動態響應和高對比度等優勢,能夠顯著提升顯示品質,因此作為一種新興技術備受關注。Prismo UniMax MOCVD 設備能夠幫助客戶在 MiniLED 生產過程中實現優異的波長均勻性和穩定性,這些指標也是 MiniLED 生產的制勝關鍵。

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“Prismo UniMax 延續了中微公司現有 Prismo 平臺的核心技術,是目前國內外極具創新性的 MOCVD 設備,為高性能的 MiniLED 生產提供高性價比的技術解決方案?!敝形⒐径麻L兼總經理尹志堯博士說道,“我們很高興看到公司開發的 Prismo UniMax 設備已開始被國內領先的 LED 客戶所采用。產品不僅能滿足嚴格的技術要求,還能幫助客戶以更低的成本獲得更高的產量。我們欣喜地看到 MOCVD 設備市場即將迎來一個新的高潮。我們期待與我們的客戶和合作伙伴一同并肩努力,進一步推動MiniLED 技術和 MOCVD 設備市場的發展。

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